——寫在山東有研刻蝕設備用硅材料及硅片擴產項目開工之際

山東有研半導體材料有限公司生產車間。記者劉振興攝

俯瞰集成電路關鍵材料基地。記者劉振興攝

記者李榕通訊員韓哲宋釗銘

8月18日，山東有研刻蝕設備用硅材料及硅片擴產項目開工儀式在天衢新區舉行。這兩個項目的落地，將推動德州打造國內領先集成電路關鍵材料基地，并與已建成和在建的8英寸硅片、12英寸硅片、高純濺射靶材項目“抱團發展”，將使德州市乃至山東省躋身硅材料產業國內第一方陣、靶材產業遙遙領先。

兩項目落戶新區

總投資逾7億元

芯片，是新一代信息技術產業的核心。山東有研是德州2018年引進的央企項目，作為德州市新一代信息技術產業鏈上的半導體材料生產龍頭企業，目前生產的產品廣泛應用于集成電路、功率器件等多個領域，打破了國外壟斷，重點滿足我國物聯網、汽車電子、工業制造、手機攝像頭等領域需求。

本次開工的刻蝕設備用硅材料及硅片擴產項目是有研半導體硅材料股份公司的上市募投項目。其中，刻蝕設備用硅材料項目總投資3.57億元，主要生產大尺寸單晶硅部件加工品，項目達產后年新增硅材料204噸，年實現營業收入3.9億元；8英寸硅片擴產項目總投資3.84億元，全部達產后可實現年新增120萬片8英寸硅片產品的生產能力，年均營業收入2.4億元。

“集成電路是高端制造業的‘皇冠明珠’，此次開工的兩個項目是我們踐行有色金屬行業‘國家隊’使命的重要載體，將進一步推動德州打造國內領先集成電路關鍵材料基地。”中國有研科技集團有限公司黨委委員、副總經理周旗鋼說。

據介紹，刻蝕設備用硅材料項目生產的產品為集成電路刻蝕設備所用的硅部件，是集成電路生產過程中刻蝕工序的消耗性材料，產品的難度在于直拉硅單晶制備過程中的工藝穩定性、產品質量參數一致性等。8英寸硅片擴產項目的產品為集成電路用直徑8英寸硅拋光片，是集成電路生產過程中的原料。“這兩個項目的建成，將進一步拓寬公司的產品范圍，提高公司的市場占有率。同時，全部建成后將實現產值6.3億元，建成中國最大刻蝕設備用硅材料生產基地。”周旗鋼說。

持續“加碼”背后

得益營商環境之優

2017年到德州考察、2018年簽署協議、2019年動工、2020年8英寸硅片通線量產，再到如今多個項目陸續落地德州，有研在天衢新區的發展一路高歌猛進。

有研持續“加碼”投資的背后，得益于德州良好的營商環境。“從項目審批，到快速解決建設中遇到的水電氣等配套難題，再到有研員工團購價購房等，每一個細節都體現出德州真招實招留企穩企的決心和誠心。”山東有研半導體材料有限公司副總經理常青說。以硅單晶拉制為例，這是一個極其復雜的過程。在拉制過程中，要控制精確溫度和拉速，對水、電和氬氣等動力條件的供應穩定性要求非常嚴苛，最害怕的就是發生抖動和能源供應的不穩定。為保證能源供應的穩定性，德州為企業建設了專用變電站，實行雙回路供電。

此外，公司的高端人才都是從北京來到德州全職工作的，但受社保繳納地、個人檔案等限制，無法享受到當地的各類人才政策補貼。針對這一痛點，我市出臺《德州市人才政策“破格權”實施細則》，對重點科研類平臺和近3年從市外招引的重大“雙招雙引”項目，可不受平臺性質限制，參照本市具有獨立法人資格企業標準，同等享受市級和所在縣（市、區）人才政策。不久前，山東有研半導體材料有限公司和山東有研艾斯半導體材料有限公司均被納入首批享受人才政策“破格權”用人單位名單。“有了‘破格權’，團隊成員就能享受到當地的很多人才政策，這不是簡單的收入或者待遇的提升，更重要的是讓他們感受到了德州惜才、愛才、護才的真心實意。”常青說。

集成電路關鍵材料基地

2025年滿產運營

“集成電路產業是省市主要領導掛帥擔任鏈長的‘一號產業鏈’，今年以來，天衢新區圍繞集成電路產業不斷延鏈補鏈，實現‘5+N’項目重大突破。”德州市委常委、天衢新區黨工委書記祁小青介紹。天衢新區投資超百億元，規劃建設了1000畝的集成電路關鍵材料基地，現已有有研8英寸硅片、12英寸硅片、高純濺射靶材、刻蝕設備用硅材料、8英寸擴產等6個項目入駐。其中，今年10月份12英寸硅片、高純濺射靶材兩項目將竣工投產，整個集成電路關鍵材料基地將于2025年實現滿產運營。“此次開工的兩個項目建成后，將進一步壯大全市集成電路產業規模，使德州市乃至山東省躋身硅材料產業國內第一方陣、靶材產業遙遙領先。”祁小青說。

從2013年引進威訊集成電路封裝測試項目，到2018年有研8英寸硅片項目落地生根，再到刻蝕設備用硅材料、8英寸擴產項目如期而至，10年的時間里，天衢新區集成電路產業實現了從“無中生有”到“多點開花”的華麗蝶變，形成了“引進一個項目、聚集一個園區、催生一個產業”的鏈式效應。

目前，天衢新區集聚電子信息規上企業達到36家，形成了以有研公司集成電路關鍵材料、威訊公司射頻芯片封測為核心，鯤程電子公司芯片模組等“一核多元”的產業布局。2022年天衢新區電子信息（集成電路）產業實現總產值124.3億元，是德州市唯一入選2022年省級戰略性新興產業的產業集群。“眼下，我們大力延鏈補鏈強鏈，積極引進傳感器芯片設計、半導體設備制造、芯片可靠性測試等項目，全部落地后，德州將形成包括關鍵材料、芯片設計、封裝測試等在內的集成電路產業微集群，躋身一線半導體產業城市。”祁小青說。