有研半導體生產車間。記者 路龍帥 攝
德州新聞網訊(牟金文)日前,中國有色金屬工業協會、中國有色金屬學會聯合發布《關于頒發2020年度中國有色金屬工業科學技術獎的通知》,山東有研半導體的IGBT用8英寸硅襯底拋光片項目獲得2020年度中國有色金屬工業科學技術獎二等獎。
據了解,IGBT用8英寸硅襯底拋光片項目的實施,突破了完整8英寸硅單晶生長、8英寸硅片精密加工等關鍵技術,解決了晶體微缺陷控制、硅片幾何參數精密控制的技術難題,研制出晶體微缺陷極少、幾何參數高度精密的高品質8英寸輕摻硅片,打破了國外技術壁壘,完全實現進口替代,形成了具有自主知識產權的一系列核心技術。項目整體技術達到國際先進水平,其中部分指標達到國際領先水平。
據悉,項目成功實施成果轉化,實現了可觀的經濟效益,并填補了國內IGBT用8英寸硅襯底拋光片產品的技術空白,批量生產的產品進入市場,累計銷售超過30萬片,銷售額近億元,前景良好。同時項目成果輻射帶動了相關配套產業的發展,提升了項目單位現有8英寸硅材料的產品質量和技術,產品在國際上呈現了較好的競爭力,促進了我國高端半導體產業鏈的完善,使我國半導體設備部件和設備部件用高端硅材料逐步擺脫對國外的依賴,提升了國家競爭力和戰略地位,保障國內集成電路產業的持續健康發展。
2020年8月,山東有研半導體材料有限公司傳出好消息:8英寸半導體級直拉硅單晶一次性拉制成功!該公司副總經理劉斌興奮不已:這是在德州經濟技術開發區新廠區使用新設備生產的,是山東省首根半導體級8英寸直拉硅單晶,標志著該產品在德州量產邁出了關鍵一步。
2020年10月16日,山東有研半導體材料有限公司舉行集成電路用大尺寸硅材料規模化生產項目通線量產儀式,中國工程院院士屠海令宣布項目正式通線量產。
在山東有研順利投產的背后,離不開經開區一系列給力的舉措:壓縮項目落地時限實現“拿地即開工”,一條龍服務配套設施“辦得好”,創新機制早餐例會督進度等。