有研億金高純濺射靶材項目1號生產車間。記者劉振興攝

有研億金高純濺射靶材項目。記者劉振興攝

——有研億金高純濺射靶材項目投產背后的4件暖心事

記者李榕劉瀟通訊員韓哲夏貞寶

9月20日，有研億金集成電路用高純濺射靶材項目投產儀式在天衢新區舉行，標志著該項目正式通線量產。

有研億金集成電路用高純濺射靶材項目總投資6億元，建筑面積4.3萬平方米，達產后年產能達到4.3萬塊，銷售收入9億元。這是中國有研科技集團在我市投資的第4個項目，也是今年在我市新開工、投產的第2個項目。項目投產后，德州市將成為華北地區最大的集成電路用高純濺射靶材生產基地。

“該項目主要以生產高純銅、銅合金、鉭、鈷等多種材質靶材為主，主要用于12英寸大尺寸晶圓制造。通過PVD基臺，可以將靶材沉積到晶圓上，用于晶圓制造的‘金屬化’過程，可實現電子元器件的互聯等功能。”有研億金新材料（山東）有限公司副總經理萬小勇稱，有研億金研發團隊歷經多年技術攻關，將銅、銅合金等靶材用金屬的純度提煉到了99.9999%以上，開發的12英寸系列靶材成功用于國內先進制程邏輯芯片和存儲芯片，是國內領先、全球少數幾家掌握集成電路用高純濺射靶材垂直一體化成套制備技術的企業。該項目投產后，企業的市場份額力爭占據世界集成電路用靶材領域的20%以上，生產規模達到世界前三水平，能夠有效解決高端芯片制造靶材“卡脖子”問題。

談及項目的順利投產，有研億金新材料（山東）有限公司總經理滕海濤用“頂格”二字為天衢新區的服務點贊。

項目建設期間，有4件暖心事令滕海濤印象深刻。

第一件事：部門靠前服務，項目“拿地即開工”。

在項目辦理施工許可階段，天衢新區行政審批部門提前為其出具樁基開工證，實行“產業項目‘雙線并行’審批機制”，即一條線辦理土地征收出讓手續，一條線辦理項目立項、環評、規劃等手續，使項目提前3個月進場施工。

不僅是有研億金靶材項目，在有研“軍團”中，有研12英寸硅片、有研艾斯項目均是“產業項目‘雙線并行’審批機制”的受益者。目前，全區有80余個項目因此受益。

第二件事：召開專題推進會，解決項目大門開設難題。

此前，項目方計劃在東方紅路段開設北大門，便于人員和施工材料進場。區行政審批部聯合9部門到現場集中勘查，組織召開專題推進會，對大門規劃設計和水、燃氣管網、電力設施改造等問題提出可行性意見和解決方案。并成立專班推進，及時解決項目方訴求。

第三件事：2天內解決生產設備進場調試難題。

企業設備進場調試需具備1萬千伏安的用電負荷需求，但當時項目現場是臨時用電，無法滿足。幫包單位天衢新區投資促進部堅持特事特辦、快事快辦，當即協調電力部門，籌建行動小組，建設組合式變電站，為設備調試提供保障，整個過程僅用了2天時間。

第四件事：為企業申請人才公寓，團隊人員心無旁騖干事業。

項目建設過程中，有研億金北京總部派出40余名核心技術骨干，入駐天衢新區支援項目建設，吃飯、住宿成了一大難題。新區想在企業前面，區投資促進部積極協調20余套人才公寓，解除了企業的后顧之憂。萬小勇是團隊中的一員，他直言：“來了半年多，最大的感受是環境好、服務優、效率高！”

近年來，天衢新區牢固樹立“項目為王”工作理念，用活用好省市支持新區發展政策，持續深化“放管服”改革，聚焦重點領域和關鍵環節，緊緊圍繞項目全生命周期服務、創新審批機制、提高項目落地效率等方面抓突破，創新“快入準營”模式，打造營商環境“金名片”。“德州與有研科技集團的合作亮點頻現，有研億金集成電路用高純濺射靶材項目的投產，將進一步延伸新區集成電路產業鏈條、提升產業層次和水平，助力德州打造‘全國重要的集成電路關鍵材料基地’。下一步，新區將繼續頂格推進招商引資和重大項目建設等重點工作，讓企業引得來、留得住、發展好。”市委常委、天衢新區黨工委書記祁小青說。